FETS-2000b 薄膜铁电性能综合测试仪
FETS-2000b 薄膜铁电性能综合测试仪具有动态电滞回线(DHM)、I-V特性、脉冲(PUND)、静态电滞回线(SHM)、疲劳(FM)、漏电流(LM)、电流-偏压、保持力(RM)、印迹(IM)的测试功能.，可广泛地应用于如各种铁电/压电/热释电薄膜、厚膜、体材料和电子陶瓷、铁电传感器/执行器/存储器等领域的研究。
测试功能：
- 动态电滞回线(DHM)
- I-V特性
- 脉冲(PUND)
- 静态电滞回线(SHM)
- 疲劳(FM)
- 漏电流(LM)
- 电流-偏压
- 保持力(RM)
- 印迹(IM)
可扩展部件：
- 探针台
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最大电荷解析度1mC
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漏电流测量1 pA ～ 20 mA
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高压源内置±10/30/100/200/500VAC
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高压击穿保护有
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测试频率0.001Hz ～5kHz/10kHz/50kHz/100kHz/500kHz
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测试功能动态电滞回线(DHM)；I-V特性；脉冲(PUND)；静态电滞回线(SHM)；疲劳(FM)；漏电流(LM)；电流-偏压；保持力(RM)；印迹（IM）
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测量精度10 fA
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样品参数与配套探针台适应
